小型油回転真空ポンプ GCD-051X
メーカー: Ulvac-kiko
特 長
接ガス部面に表面処理を施した、油回転真空ポンプのケミカルタイプ。
オイルフィルトレーションシステムに接続可能。
低騒音で低振動。
逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。
強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。
大気圧からの作動が可能。
内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。
仕 様
|
Unit |
50Hz |
60Hz |
実効排気速度 |
L/min |
50 |
60 |
到達圧力※1 |
Pa |
0.67 (G.V. closed) 6.7 (G.V. open) |
|
使用電動機 |
|
単相, 100V, 200W, 4P, 分相始動 |
|
全負荷電流 |
A |
5.6 |
4.8 |
油量 |
mL |
500 - 800 |
|
使用油 |
|
SO-M |
|
質量 |
Kg |
14.1 |
|
吸気管径 |
mm |
KF-25 |
|
使用雰囲気温度範囲 |
oC |
7 - 40 |
|
最大寸法 |
mm |
165.5(W) × 419(L) × 222.7(H) |