Đầu dò quang phổ tán xạ năng lượng (EDS)
Model: XFlash® 630H
Hãng sản xuất: Bruker
Đầu dò tốc độ cao SDD không cần LN2
Diện tích đầu dò: 30 mm2
Phạm vi phát hiện nguyên tử: Bo(5) – Am(95)
Độ phân giải năng lượng: nhỏ hơn 129 eV (tiêu chuẩn: MnKα)
Lượng tia X tối đa: 159.000 CPS
Phần mềm: Phổ, Line scan, bản đồ & tạo báo cáo