Kính hiển vi điện tử quét để bàn SNE-3200M
Model: SNE-3200M
Hãng sản xuất: SEC - Hàn Quốc
Xuất xứ: Hàn Quốc
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) dùng để phân tích hình thái và cấu trúc bề mặt của vật liệu thông qua một số đầu dò, sau khi mẫu được bắn bởi chùm tia điện tử sẽ phát ra các bức xạ (bức xạ điện tử thứ cấp, điện tử tán xạ ngược) tạo ra ảnh SEM. SEM là kỹ thuật nền tảng của ngành MEMS (Hệ thống vi cơ điện tử) và là thiết bị phân tích, đo lường vật liệu cấu trúc nano siêu mịn với độ phân giải 1nm.
Đặc tính
- SNE – 3200M có độ phóng đại tối đa 60.000 lần.
- SNE – 3200M được trang bị đầu dò electron thứ cấp (SE) và đầu dò tán xạ ngược (BSE).
Đầu dò SE (đầu dò electron thứ cấp):
Phân tích, kiểm tra bề mặt cung cấp hình ảnh và thông tin chất lượng cao.
- Đầu dò BSE (đầu dò tán xạ ngược):
Cung cấp hình ảnh phân tích về độ tương phản thành phần hóa học (phụ thuộc rất nhiều vào thành phần hóa học ở bề mặt của mẫu).
- SNE – 3200M có 3 trục X, Y và R có thể hoạt động dễ dàng và thuận tiện với điều khiển chuột trong U.I . Có thể kiểm tra và lưu hai hình ảnh SE/BSE cùng lúc bằng chế độ xem kép.
Thông số kỹ thuật:
|
Độ phân giải |
15 nm (30kV, ảnh SE); 20 nm (30kV, ảnh BSE) |
|
Độ phóng đại |
20 – 60.000 lần |
|
Thế gia tốc |
1 – 30kV (6 mức: 1/5/10/15/20/30) |
|
Đầu dò |
Đầu dò electron thứu cấp (SE) Đầu dò tán xạ ngược (BSE) |
|
Súng điện tử |
Pre-centered Tungsten Filament Cartridge |
|
Hệ thống trục |
X: 35mm, Y: 35mm, R: 360o |
|
Kích thước tối đa của mẫu |
70 mm (đường kính) x 30 mm (chiều cao) |
|
Chức năng tự động |
Tự động bắt đầu, tự động lấy nét, tự động Stigmator, tự động làm sáng và tự động tương phản |
|
Định dạng hình ảnh |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
|
Chế độ chân không |
Thấp & cao |
|
Bơm chân không |
Bơm Rotary/ bơm Turbo Molecular (Tự động) |
|
Kích thước |
Bộ phận chính: 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg Bộ phận điều khiển: 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg Bơm: 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
Ứng dụng:
