Kính hiển vi điện tử quét để bàn (SEM)
Model: SNE-4500M Plus
Hãng sản xuất: SEC
Xuất xứ: Hàn Quốc
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) dùng để phân tích hình thái và cấu trúc bề mặt của vật liệu thông qua một số đầu dò, sau khi mẫu được bắn bởi chùm tia điện tử sẽ phát ra các bức xạ (bức xạ điện tử thứ cấp, điện tử tán xạ ngược) tạo ra ảnh SEM. SEM là kỹ thuật nền tảng của ngành MEMS (Hệ thống vi cơ điện tử) và là thiết bị phân tích, đo lường vật liệu cấu trúc nano siêu mịn với độ phân giải 1nm.
Đặc tính
- Dòng sản phẩm kính hiển vi để bàn SNE – 4500M Plus thao tác vận hành đơn giản và cho hiệu suất tốt nhất.
- SNE – 4500M Plus được trang bị đầu dò SE & BSE và chân không cao & thấp
- SNE – 4500M Plus có độ phóng đại tối đa là 150.000 lần và được tối ưu hóa để phân tích mặt cắt/ mặt cắt ngang.
- Kết hợp đầu thu phổ tán xạ năng lượng tia X (EDS) cho phép phân tích thành phần nguyên tố trong vùng quan sát.
- Đầu dò SE (đầu dò electron thứ cấp):
Phân tích, kiểm tra bề mặt cung cấp hình ảnh và thông tin chất lượng cao.
- Đầu dò BSE (đầu dò tán xạ ngược):
Cung cấp hình ảnh phân tích về độ tương phản thành phần hóa học (phụ thuộc rất nhiều vào thành phần hóa học ở bề mặt của mẫu).
- Có 5 trục X, Y, Z, T và R giúp điều hướng thuận tiện và tìm được vị trí phân tích dễ dàng bằng camera Top-view CCD.
- Tạo ra hình ảnh dễ dàng và thuận tiện với thao tác “Click & Move” bằng cách điều hướng 5 trục.
- Có thể tạo ra hình ảnh ở các góc nghiêng khác nhau với độ nghiêng của trục T thay đổi từ -45o đến 90o.
Thông số kỹ thuật:
|
|
Plus A |
Plus B |
|
Độ phân giải |
5 nm (ảnh SE, 30kV) |
5 nm (SE); 8 nm (BSE) |
|
Độ phóng đại |
20 – 150.000 lần |
|
|
Thế gia tốc |
1 – 30kV (6 mức: 1/5/10/15/20/30) |
|
|
Đầu dò |
Đầu dò electron thức cấp (SE) |
Đầu dò electron thứ cấp (SE) Đầu dò tán xạ ngược (BSE) |
|
Súng điện tử |
Pre-centered Tungsten Filament Cartridge |
|
|
Hệ thống trục |
X: 40mm, Y: 40mm, R: 360o Z: 0 đến 40mm, T: -45o đến 90o |
|
|
Kích thước tối đa của mẫu |
Փ 80 mm x 35 mm (H) |
|
|
Chức năng tự động |
Tự động bắt đầu, tự động lấy nét |
|
|
Định dạng hình ảnh |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
|
|
Chế độ chân không |
Cao |
Thấp & cao |
|
Bơm chân không |
Bơm Rotary/ bơm Turbo Molecular (Tự động) |
|
|
Kích thước |
Bộ phận chính: 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg Bộ phận điều khiển: 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg Bơm: 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
|
Ứng dụng
