Kính hiển vi điện tử quét để bàn SNE-3000MS
Model: SNE-3000MS
Hãng sản xuất: SEC - Hàn Quốc
Xuất xứ: Hàn Quốc
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) dùng để phân tích hình thái và cấu trúc bề mặt của vật liệu thông qua một số đầu dò, sau khi mẫu được bắn bởi chùm tia điện tử sẽ phát ra các bức xạ (bức xạ điện tử thứ cấp, điện tử tán xạ ngược) tạo ra ảnh SEM. SEM là kỹ thuật nền tảng của ngành MEMS (Hệ thống vi cơ điện tử) và là thiết bị phân tích, đo lường vật liệu cấu trúc nano siêu mịn với độ phân giải 1nm.
Đặc tính
- SNE – 3000MS được trang bị đầu dò SE và chân không cao.
- SNE – 3000MS có độ phóng đại tối đa là 60.000 lần.
- SNE – 3000MS có thể kết hợp với đầu dò EDS để phân tích vi nguyên tố chính xác.
- Đầu dò SE (đầu dò electron thứ cấp):
Phân tích, kiểm tra bề mặt cung cấp hình ảnh và thông tin chất lượng cao.
- SNE – 3000MS có 3 trục X, Y và R thuận tiện cho việc di chuyển và điều hướng dễ dàng, điều khiển chỉ thao tác với chuột. Tự động lấy nét, tự động tương phản và tự động làm sáng. Cho kết quả ảnh SEM trong vòng 3 phút từ khi trao đổi mẫu.
Thông số kỹ thuật
|
Độ phân giải |
15 nm (30kV, ảnh SE) |
|
Độ phóng đại |
20 – 60.000 lần |
|
Thế tăng tốc |
1 – 30kV (6 mức: 1/5/10/15/20/30) |
|
Đầu dò |
Đầu dò electron thứ cấp (SE) |
|
Súng điện tử |
Pre-centered Tungsten Filament Cartridge |
|
Hệ thống trục |
X: 40mm, Y: 40mm, R: 360o |
|
Kích thước tối đa của mẫu |
70 mm (đường kính) x 30 mm (chiều cao) |
|
Chức năng tự động |
Tự động bắt đầu, tự động lấy nét, tự động Stigmator, tự động làm sáng và tự động tương phản. |
|
Định dạng hình ảnh |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
|
Chế độ chân không |
Cao |
|
Bơm chân không |
Bơm Rotary/ bơm Turbo Molecular (Tự động) |
|
Kích thước |
Bộ phận chính: 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg Bộ phận điều khiển: 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg Bơm: 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
Ứng dụng
